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氦質譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發檢漏儀，普發真空泵，inficon，壓力控制器

產品列表

產品圖片	產品名稱/型號	產品簡單介紹
	MKS 質量流量計	MKS 質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。
	DELTA //流量比例控制器	DELTA //流量比例控制器
	Tru-Flo質量流量檢驗器	Tru-Flo質量流量檢驗器
	以壓力為基礎的流量控制器	以壓力為基礎的流量控制器
	MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器	MASS-FLO系列橡膠密封質量流量控制器
	MF1系列數字質量流量控制器	通用數字質量流量控制器。
	General系列數字質量流量控制器	通用數字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%，響應速度快于500毫秒，不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通訊接口可選。
	金屬密封數字質量流量控制器	新一代多氣體/多量程數字質量流量控制器。實時高精度流量控制是基于先進的數字算法技術，提供精度為設定值的正負1%，相應速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換的優異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%，相應速度快于1秒，不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數字（Profibus，DeviceNet）通訊接口可選。

產品目錄

真空設備研發制造

普發真空系列產品

MKS系列產品

inficon系列產品

EBARA真空泵（EBARA Vacuum Pump)

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